二手 ENGIS THG-170 #9185382 待售

ENGIS THG-170是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光設備,其獨特之處在於它能夠在一個步驟中容納高達170 mm的大晶圓直徑,並具有卓越的工藝精度。該系統由ENGIS Superarrasives制造,為自動化和手動操作提供精確、無缺陷的表面。THG-170單元裝有金剛石磨輪，可加工扁平、整流和階梯式氧化鋁、石英和碳化矽晶片。另外的準備和整理，像磁帶膠粘劑去除，可以用ENGIS THG-170通過選項，如吸收墊清洗站來完成。THG-170具有強大的結構設計以提高效率,使其成為最嚴格的生產環境的理想選擇。它有一個浮動的雙壓力壓板，可減少磨削過程中的基板翹曲，精密平衡的磨輪確保工藝精度和可重復性。使用獨立的XY-軸換能器可精確追蹤晶圓表面的確切位置。內置的空氣軸承主軸提供了卓越的研磨精度以及內置的動態平衡。ENGIS THG-170的數字控制允許方便地訪問工藝參數和操作員可調節的晶圓研磨、研磨和拋光程序。此外，該機還具有內置的過程重復性和跟蹤能力，特別適合連續大批量生產運行。對於額外的過程控制THG-170包括精密的反饋系統，跟蹤晶圓厚度並保持對研磨過程的精確控制。總體而言,ENGIS THG-170晶圓研磨、研磨和拋光工具是一種用途廣泛且可靠的解決方案,適用於要求最苛刻的生產操作。憑借堅固的結構、精確的研磨和研磨能力,以及全面的控制系統,THG-170提供了高效、高質量的過程,且操作錯誤最小。