二手 EXCEL Micron 618 #170194 待售

EXCEL Micron 618是一款高效、用戶友好的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它提供了單一晶片處理解決方案，以在短時間內達到優越的晶片光潔度和均勻性。該系統利用工藝工程和超精密技術的最新進展，確保每個晶片都具有出色的平整度和無粒子表面。Micron 618采用旋轉頭設計,能夠從晶圓的背面和正面進行高生產吞吐量的處理。該裝置采用兩個高精度工藝階段和兩個可控、獨立的主軸。它可以處理具有可變、較大行程和變速控制的8「和12」晶片。EXCEL Micron 618的高級控制機使批處理能夠基於用戶定義的參數和自動過程優化。它可以獨立控制工藝,並在每個晶片中獲得更好的表面光潔度.該工具具有先進的傳感器,可監控產生的壓力和扭矩,確保過程一致,磨料珠的磨損最小。Micron 618還提供集成的串聯粒子檢測和工藝控制，使晶片清潔度最大化，潛在缺陷最小化。其精密的磨料分散資產保證了加工室內的恒定和均勻的磨料濃度，使得拋光效果更加均勻。EXCEL Micron 618還提供多功能自動化功能,包括遠程監控、PC/SCADA接口和自動機器人裝載機等功能。這使得該模型成為一種經濟高效且精確的晶圓研磨、研磨和拋光解決方案,可集成到大批量生產過程中。