二手 FUJI 4B-4L-4WAY #9224520 待售

富士4B-4L-4WAY是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於研磨、研磨和拋光半導體晶圓。設有四頭研磨站、四向磨輪、四頭拋光站、可編程控制系統。該單元的四頭研磨站同時旋轉和移動所有四個研磨輪頭，使它們保持均勻運動並不斷與晶片接觸。它的設計使得晶片將永遠在同一平面上研磨，允許材料去除的均勻分布以達到完美的均勻性。可以將研磨頭設置為高浮雕角度,從而允許從任何表面缺陷或粗糙度中去除受控材料。四向磨輪結合了四個單獨的磨頭，它們在相反的方向上旋轉，允許更高的精度在磨削。四個單獨的研磨頭允許在整個晶片中均勻研磨，確保了高度的精確度和材料去除。四頭拋光站利用拋光墊將基板固定到位，而四向研磨拋光頭旋轉360度軌道。這樣可以確保整個晶片表面均勻拋光。利用變頻驅動器控制軌道速度，讓操作員調整拋光速度以獲得最佳結果。4B-4L-4WAY臺機器還配備了計算機化的可編程控制工具，使操作更容易。此資產允許設置流程配方、監視流程信息、控制流程參數、故障排除等。用戶可以編輯、保存和召回流程配方,並監控流程的實時數據,從而提高準確性和可重復性。總體而言，FUJI 4B-4L-4WAY模型是任何半導體晶圓研磨、研磨、拋光需求的完美解決方案。它能夠通過其用戶友好和精確的控制設備提供極其均勻的平整和物料區域去除表面。