二手 FUJI FSP-12B-5L #9118923 待售
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FUJI FSP-12B-5L是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於加工直徑不超過6英寸的半導體材料。FSP-12B-5L系統提供流線型表面制備工藝,非常適合當今最先進的設備。它由一個12英寸的磨輪、一個40升的儲罐、一個高壓泵、一個真空泵和一個數控可編程控制單元組成。磨輪是由金剛石顆粒粘合到一個鋼背底座,以優越的切割功率和剛度組成。超大型儲罐設計為提供超平滑的操作,以及減少加工過程中的熱量積聚和水分流失。控制機具有基於菜單的圖形用戶界面,簡化操作,並在整個研磨過程中保持最大精度。該工具提供了一系列參數,如研磨壓力、研磨速度以及所需的水和油量。為了保證精度,該資產利用一個精確的負載單元來監測施加到晶片表面的壓力,確保光滑均勻的光潔度。FUJI FSP-12B-5L還配備了一個高壓泵來有效地加壓輪巴水/油混合物,從而使研磨速度更快、效率更高。可以根據所需的結果調整泵的壓力範圍。此外,真空泵從卡盤和儲罐中清除廢舊材料,以確保清潔、安全的工作環境。FSP-12B-5L是一種先進、用戶友好的晶圓研磨、研磨和拋光模型,為各種清潔和表面制備應用提供了完整的設備解決方案。該裝置具有變速驅動系統和精密負載單元,可提供一致精密的精加工,準確性和可重復性。此外,儲罐確保操作平穩、安靜,振動最小,減少噪音汙染和空氣中汙染物的數量。控制機人性化的圖形用戶界面簡化了操作,消除了設置時間,讓操作員安心。
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