二手 FUJI KOGYO 9B-5L #9276659 待售

FUJI KOGYO 9B-5L晶圓研磨、研磨和拋光設備是半導體晶圓精密表面拋光的精密高效系統。該機組設有兩個雙面研磨拋光站，允許兩個晶片同時加工。每個站都能處理一個6"、8"或12"晶圓。這臺機器在低顆粒汙染的情況下提供了快速的加工時間。9B-5L工具設計用於各種材料的研磨、研磨和拋光,包括矽、GaAs、InP、藍寶石和石英。該資產可用於晶圓基板的蝕刻、研磨、研磨、拋光、背面調理和沖刷過程。車型包括600/110rpm主軸轉速、2000或600rpm板轉速和可調板底壓力。可以選擇壓力、速度、旋轉方向和傾斜角度等可編程參數以確保工藝精度。設備包括精密的四軸卡盤和卡盤驅動器。FUJI KOGYO 9B-5L有一個數字控制面板，旨在提供對磨削和拋光過程的精確控制。它可以設定壓力、旋轉速度、旋轉方向和傾斜角。觸摸屏面板還允許對各個流程參數進行編程。系統配備了提供詳細過程控制的軟件。軟件包括一系列自動控制選項,如經過的時間、每晶圓的總圈數、行進距離和每晶圓的步數。該裝置采用9英寸HB金剛石研磨輪制備晶片，采用4英寸HB金剛石研磨輪進行晶片邊緣研磨。該機還包括研磨板、拋光墊套件和一個BEOS室，用於調節拋光過程的溫度和壓力。9B-5L提供了一個用戶友好的設計，以確保高過程重復性和清潔的操作環境，非常低的顆粒汙染水平。這樣可以確保每個晶片都按照最高標準進行處理。