二手 G&N MPS 2-134 #9227858 待售

G&N MPS 2-134晶片研磨、研磨及拋光設備（MPS 2-134）是一款設計用於集成電路（IC）和基板晶片研磨拋光的創新產品。該系統由不同的外圍設備組件組成,可實現高度的流程準確性、可重復性和吞吐量性能。該裝置設計用於超精密制造晶片，以滿足最高的半導體制造要求。G&N MPS 2-134提供獨特、堅固和可靠的晶圓研磨和拋光工藝。機器裝有兩級研磨/拋光單元，由研磨輪和拋光墊組成。磨輪由金剛石或cBN磨料制成。它專為薄晶片和厚晶片的高速研磨而設計，具有很高的精度和可重復性。第二階段是用於拋光晶圓表面的化學/機械（CMP）拋光工藝。拋光步驟使用適合晶圓材料和特性的拋光漿料執行。MPS 2-134提供了對研磨和拋光過程的精確控制。該裝置具有自動間隙調節能力，能夠測量磨輪和晶圓之間的間隙寬度，以確保最佳工藝精度。此功能還有助於為特定應用程序設置最佳流程參數。該單元還包括使用分布式控制工具（DCS）體系結構的高級過程控制,允許對研磨和拋光過程進行遠程監控。G&N MPS 2-134還為操作員提供了增強的安全功能，因為資產配備了自動保護模型和緊急停止電路。此功能有助於保護用戶在使用設備期間免受任何潛在事故的影響。為了最大限度地提高磨削和拋光工藝的效率，MPS 2-134采用了獨特的拋光漿料和拋光墊架。該支架配有機動設備，可方便快捷地裝卸墊子和泥漿容器。此功能消除了漿料和墊料轉換過程中的任何潛在時間損失,從而提高了生產率、吞吐量和工藝可重復性。總體而言，G&N MPS 2-134是一個創新系統，旨在滿足半導體制造的苛刻需求。該單元對晶片研磨、研磨和拋光工藝提供了獨特而可靠的控制,確保了最先進應用的最高質量晶片。