二手 G&N MPS 2 R300 #9000439 待售

G&N MPS 2 R300是晶圓研磨、研磨、拋光系統，專為加工矽、GaAs、InP等單晶半導體基板而設計。該機采用模塊化、半自動化的生產工藝對這些基板進行精密金剛石研磨、研磨和拋光。該機配備了三個截然不同的濕處理模塊，每個模塊專門用於流程的一個特定階段，每個模塊都配備了獨立的功能，使其高度適應一系列需求和應用。G&N MPS2-R300是一種單晶片串聯系統，具有電機驅動的三級滾子輸送機，在單個單元中提供精確的研磨、研磨和拋光。通過這些特點，該機提供了較高的工藝速度和優越的晶圓處理，精度和可重復性。磨削模組為單晶片機，具有專門設計的磨頭，精確控制金剛石磨輪。該模塊為各種不同的基板提供高精度研磨,用於加工直徑低至5毫米的幾何形狀以及200毫米以下的不規則形狀的基板。研磨模組包含一個精密控制的搭盤，有各種磨料和托架操作。此模塊用於創建表面特性的均勻性,以便在成品晶片中生成所需的規範。拋光模組與研磨研磨模組相似，使用相同的電動機驅動載波和旋轉臺。該模塊利用多種等級的金剛石拋光墊在基板上產生高度拋光的表面。綜上所述，MPS 2R300是專門為矽、GaAs、InP等半導體基板設計的晶圓研磨、研磨、拋光系統。這臺符合人體工程學設計的機器提供了一個模塊化、半自動化的生產平臺，用於對這些基板進行精密研磨、研磨和拋光，實現了高工藝速度和優越的晶圓處理、精度和可重復性。