二手 G&N MPS 2 R300 #9229189 待售
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ID: 9229189
Grinding machine
Chuck, 4"-5"
Includes:
(3) Vacuum chucks
(2) Operators manuals
Circuit diagrams
Vacuum pump missing.
G&N MPS 2 R 300晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種全自動工具,用於處理各種基材。它旨在實現盡可能低的表面粗糙度和均勻性。該系統自給自足,具有自動磨磨-拋光-清潔-後調節循環,可快速產生高質量、低缺陷的表面。該機器包括一個集成的虛擬晶片加載單元,允許同時快速加載和卸載多個晶片。虛擬晶片裝載機在加工形狀和尺寸復雜的生產批次時特別有用。機器根據晶片的大小和形狀自動調整進料速度和砂輪壓力。G&N MPS2-R300還包括一個板載高精度車削平臺,用於在研磨前精確旋轉和定位晶片。一個高效真空卡盤的高效研磨完成了工具.MPS 2R300的研磨部分使用兩個獨立的金剛石研磨段,一個是靜態的,一個是移動的。這允許通過伺服反饋控制來調整膝蓋尺寸。研磨和研磨過程中,研磨段對表面施加精確壓力。一個特殊的泵資產過濾空氣,保持移動和靜態研磨段之間的間隙始終在精確規格。MPS 2-R300拋光部分采用固定的多層拋光模型進行有效而均勻的拋光。基板支撐在毛氈墊上,而拋光則由受控的CDA-CNC拋光輪完成。拋光輪經過回火處理,可提供最佳的平整度和表面精度.G&N MPS 2-R300還包括用於最終處理的綜合後調節周期。該循環設計為提供最高精度的平坦度。通過將晶片基板自動返回到其原始位置來完成循環,並測量每個晶片的質量。G&N MPS 2R300晶片研磨、研磨和拋光設備為加工高精度晶片和基材提供了一個完整而高效的解決方案。適用於大批量生產,表面精度和質量均優越。
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