二手 G&N MPS 940 #194462 待售
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G&N MPS 940是一種綜合性晶圓研磨、研磨和拋光設備。它集成了公用事業和配件，用於生產高質量、超平坦、可重復的晶圓表面。該系統有一個多控制單元，允許簡單的設置和操作。它具有可調的傾斜機構，可確保晶片整個表面的磨削速率和表面光潔度均勻。MPS 940的傾斜範圍為2到26度，在保持時間、下力和磨削壓力不同的情況下有助於實現均勻性。該機還具有潤滑和冷卻系統，具有不銹鋼進料機和先進的冷卻機構，有助於降低研磨介質的溫度。這有助於在整個研磨過程中保護晶圓的細微結構。研磨介質可以使用陶瓷或金剛石材料制造，使G&N MPS 940適合加工各種材料。磨削介質通過可編程的漏鬥工具送入工作甲板,最大介質尺寸為200微米。這樣可以確保磨削介質的進料速率和尺寸始終一致。研磨和拋光過程是在同一資產中進行的，這樣就不需要兩臺單獨的機器。精密皮帶拋光器可將晶片拋光至10納米表面光潔度。拋光器有內置的計算機控制模型，可以讓操作員調節拋光表面的速度和壓力，以及晶圓的傾斜度和位置。總體而言，MPS 940是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，提供準確和高效。該系統確保了隨後晶圓測試和生產階段的最佳表面光潔度。
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