二手 G&N MPS 940 #9172866 待售

Gatan 940型MPS是用於晶圓研磨、研磨、拋光應用的多功能設備。系統能夠研磨、研磨和拋光平面（$0 ^\circ $-15 $^\circ $slopes）、圓柱形（$0 ^\circ $-180 $^\circ $slopes）或球形曲面。而且，它可以同時處理Si和非Si材料。該單元的核心是一個直列運動控制平臺，它提供高達四個軸的高速、高精度運動控制。這有助於對X、Y、Z和A級進行精確控制。該機還配備了主軸電機，可以對圓柱面和球面進行高精度加工。其變速控制允許最大主軸轉速高達1000 RPM。它還安裝了一個獲得專利的運動學快速變更（KQC）配合工具,該工具允許快速交換模具資產。此外，Gatan G&N MPS 940型號還配備了多種多磨削、研磨、拋光工具，包括金剛石漿料、流體和漿料。設備還裝有用於優化清潔過程的集成空氣噴嘴。該系統的其他功能包括內置的安全互鎖、可選的除塵罩以及基於觸摸屏的圖形用戶界面。它還具有具有多個卡盤位置的真空夾緊裝置，以及增強能見度的LED光機。總體而言,Gatan 940型MPS是超精確研磨、研磨、拋光和清洗各種材料的理想工具。憑借其多種多樣的功能和可定制的選項,此資產是針對各種應用程序的可靠且一致的解決方案。