二手 GATAN / SAGITTA Gemini CX #9131544 待售

GATAN/SAGITTA Gemini CX是晶圓研磨、研磨和拋光設備的組合。它是專門為單個晶圓工藝而設計的。這個系統是多步驟的，需要五個獨立的部分來完成這個過程。第一步是用金剛石研磨介質進行晶圓研磨。這使用磨削動作來減小晶粒尺寸並確保均勻的表面光潔度。第二步是采用金剛石研磨介質進行低壓研磨，在不改變平整度或形狀的情況下對表面進行拋光和光滑處理。第三步是拋光。這是利用磨料漿料來降低表面粗糙度和創建平面化的表面。第四步是采用較高壓力的金剛石研磨介質進行研磨，以提高表面均勻性。第五步也是最後一步是化學機械拋光，使用活性化學溶液。此步驟清潔表面，減少拋光時間，並創建介電層，使晶片適合半導體器件。GATAN Gemini CX單元的主要部件是研磨/拋光單元、機電運動和半自動控制。研磨/拋光裝置一次可容納和加工一個晶片。它配有晶片卡盤、墊架、金剛石磨料介質。機電運動由步進電機提供，機器由微處理器控制。這允許晶片的精確運動和對準，以及對旋轉速度和壓力的精確控制。控件提供有關流程的反饋,並提供用戶輸入選項來控制變量和參數。該工具還可以運行自動化進程，使用預設參數自動研磨和拋光晶圓。SAGITTA Gemini CX資產是一種具有成本效益的晶圓研磨、研磨和拋光模型，能夠產生優異的效果。它設計用於單晶片操作，高度自動化。它采用重型結構建造，具有多種功能，旨在確保準確性和一致的結果。其自動化工藝易於使用，可用於達到不同表面要求的一系列速度和壓力。