二手 GIGAMAT 3826 #9143786 待售

GIGAMAT 3826是一款功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於半導體應用。在3826的核心是一個LoadLock盒式裝載機連接到一個研磨-lasp-pol平臺，容納強大的研磨和拋光頭。此設置提供了快速的示例加載和卸載以及高微精加工能力。先進的晶片夾緊和驅動系統可確保可靠的研磨和拋光,並對其進行精確控制。高度的控制和精確度，結合最新的變頻驅動技術，使GIGAMAT 3826獲得最佳的表面光潔度效果。這使得它成為敏感晶片生產應用的理想選擇。磨頭采用6.6千瓦無刷電機驅動,具有先進的主軸剛度和減振性能,可實現高精度和重復性。可選的DC 6.6 kW渦輪馬達也可用於最大研磨功率。該系統還具有用於快速更換刀具的低慣性快速變化單元（RCS）和用於高效收集粉塵的粉末再循環機（PRS）。3826研磨拋光平臺有兩個超聲波研磨頭，能夠達到5kHz振幅，可調至12 kHz。強大的75HP交流伺服馬達用於以精確的圓周運動驅動研磨工具,在多次研磨過程中提供卓越的一致性。高級控制工具可確保可重復結果。拋光方面，GIGAMAT 3826配備了創新的壓力控制資產。該模型使用獲得專利的三點支撐設備在樣品上產生完全均勻的壓力，該設備能夠保持從5g到500克的壓力。智能控制系統根據樣品的尺寸、形狀、表面光潔度要求和材料調整壓力。3826是一種可靠、高性能的研磨、研磨和拋光裝置，用於最堅韌的半導體應用。其先進的驅動和控制系統確保了可重復和可靠的結果。壓力機可確保均勻拋光壓力,達到一致的表面光潔度.這使得它成為最具挑戰性的生產過程的理想選擇。