二手 GMN MPS 2 R300 DS #9133730 待售

GMN MPS 2 R300 DS是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在為現代半導體晶圓加工提供最大的靈活性和先進的技術。它具有堅固可靠的設計,能夠提供出色的晶圓研磨、研磨和拋光性能。該系統由兩個相互連接的模塊組成，包括研磨和研磨模塊和拋光模塊。磨削和研磨模塊設計用於晶圓切割、變薄和研磨,而拋光模塊設計用於後研磨表面精加工,以實現精確、可控的晶圓平面度和表面粗糙度控制。這些模塊並排安裝,並使用CANbus網絡進行通信。磨削和研磨模塊配備了一個高功率的直接驅動主軸,其功率高達200,000 RPM,功率高達50 HP。強大的電動機可確保清潔切割,並提供精確的研磨和研磨操作。高精度的直線電動機驅動器和3D數控可以實現復雜的三軸控制和無與倫比的精度。主軸還配備了一個內部冷卻裝置，用於熱控制。拋光模塊配備了精密設計和構造的拋光頭，能夠實現高精度、均勻的表面光潔度。拋光頭由大功率直線電動機驅動和允許三軸控制的3D CNC控制機提供動力。拋光頭配有集成拋光，即使在高生產速度下也能提供最佳表面光潔度和高精度拋光。GMN MPS 2 R300DS專為實驗室和生產環境而設計,提供卓越的性能和靈活性。是高精度晶圓研磨、研磨、拋光作業的理想選擇。該工具配備了直列式、無損光學計量工具和實時數據采集資產,可讓您實時監控該過程,從而更好地了解晶圓過程。