二手 GUANGDONG FUSAN FXM-10 / FPG-13 #9093628 待售

廣東扶桑FXM-10/ FPG-13是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體工業。該機采用精密研磨金剛石工具，支撐磨料，安裝在旋轉臺上。該表以低速（通常低於1000 RPM）旋轉,使金剛石刀具能夠以較少的努力有效地磨削、打磨和拋光更多的材料。它采用自動裝卸系統，旨在最大程度地減少停機時間，使機器能夠在研磨、研磨和拋光晶片之間快速切換。該機包括一個雙軸可編程控制器，便於控制和優化研磨、研磨和拋光參數。可選的可編程邏輯控制器（PLC）允許進一步定制操作參數。一個集成的主軸單元提供了極好的精度和可重復性，與選項升級到一個多主軸機提高速度和效率。FXM-10/ FPG-13配備高精度、可重復的研磨懸掛工具,采用兩根可調節的拉桿,確保均勻、光滑的表面光潔度。該資產設計用於研磨尺寸和厚度可變的圈狀晶片，頂部公差為100 nm。使用帶有數字顯示器的60倍顯微鏡監測研磨和研磨過程。該機還具有內置式載荷單元和流體裝卸控制的拋光頭，設計用於精密和可重復性的拋光薄膜結構或其他先進基板。拋光頭安裝在高速、直接驅動的電動機上，允許快速調整拋光過程的力和速度。廣東富山FXM-10/ FPG-13是精磨、研磨和拋光工藝的結合，為半導體制造提供了完整的解決方案。其先進的控制、懸浮和拋光系統使其能夠生產具有卓越表面質量的高精度晶片。是先進包裝基板、顯示玻璃、MEMS/光電材料等應用的理想解決方案。