二手 GUANGDONG FUSAN FXM-11 / FPG-9 #9093622 待售

廣東富山FXM-11/ FPG-9是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於生產用於集成電路制造的高質量、生產水平的基板。該系統有一個簡單、用戶友好的控制面板，通過觸摸屏顯示器監控生產、調整參數和查看存儲的配方。其主要部件包括可調節的空氣軸承主軸、晶圓傳輸、樣品處理、自動研磨/研磨/拋光頭以及邊緣檢測單元（EDS）。在研磨應用中，FXM-11/ FPG-9采用了一種宏自動線分析儀，它可以精確地控制磨料漿料的運動。它還內置了降低磨料噪聲的低噪聲操作和提高安全性。該機器提供了高度可定制的流程配方,以有效滿足客戶需求。例如，可以根據特定的晶圓幾何、基材要求和工藝約束來設置研磨方法。Edge Detection Tool （EDS）是廣東扶桑FXM-11/ FPG-9的亮點。該資產使用倒刀邊緣監控側壁粗糙度,以檢測表面平坦度在0.5 µm以內。EDS還提供了邊緣檢測點的屏幕圖和對研磨筆觸的精確控制。作為安全措施，如果刀刃檢測到樣品中的任何裂紋或碎屑，模型會發出聲學警告。晶片傳輸設備可確保將拋光晶片均勻傳輸到下一個過程,而不會受到汙染。FXM-11/ FPG-9的樣品處理旨在在不影響質量的情況下最大限度地提高系統速度。它可以容納高達8英寸的樣本量,同時最大限度地減少顆粒汙染。簡而言之，廣東扶桑的廣東扶桑FXM-11/ FPG-9是晶圓生產研磨、研磨、拋光的理想解決方案，其精度和效率是無與倫比的。其多才多藝的特點和功能使行業專業人員能夠以最小的努力生產出精確、高質量的基材。更重要的是，其高端安全功能使其適合在廣泛的生產環境中使用。