二手 HAMAI 16B-5P #9073248 待售
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ID: 9073248
優質的: 2007
Double-side polisher
(4) Motors
Stainless steel plates
Not included: dressing carriers, slurry tank
2007 vintage.
HAMAI 16B-5P是一種高精度晶圓研磨、研磨、拋光設備,旨在為半導體晶圓提供最高水平的表面光潔度和平坦度。該系統提供兩種模塊化配置。16B-5P-SG專為標準晶圓研磨和拋光工藝而設計,而HAMAI 16B-5P-HG提供優質的高精度研磨和拋光。該裝置旨在最大限度地提高生產吞吐量,同時最大限度地減少汙染和變化。16B-5P具有五件式盒式機器,可提供高效且無汙染的晶圓交換。多種拋光和磨盤可用於各種工藝應用。這些光盤易於更換,工具可以完全自動化進行大批量生產。HAMAI 16B-5P采用高精度SCARA機械臂,可精確控制磨削/拋光輪的運動。The16B-5P還具有獨特的晶片裝卸方式,無需人工幹預。16B-5P是一個完全封閉的資產,具有大容量排氣模型,以確保清潔的工作環境。外殼裝有過濾器和真空設備,用於清除雜物。該系統能夠生產具有優異表面光潔度和平坦度的磨碎和拋光晶片。它還能夠生產晶圓,其晶圓的光潔度高達8微米。HAMAI 16B-5P具有極端隔振功能,可減少晶圓斷裂的機會,並將低噪聲引入機組。該機器還為晶片設計了機械保護,以防止意外損壞。該工具配備了數據記錄資產,可用於實時監視晶圓配置文件和過程參數。它還提供了易於閱讀的圖形界面,用於監視和控制模型的功能。該設備還具有獨特的自動晶片跟蹤系統,可以監控晶片的位置,以獲得最佳的工藝能力。16B-5P為高質量半導體晶片的生產提供了可靠、高精度、無汙染的工藝。該裝置能夠生產具有優異表面光潔度和平坦度的晶片,並具有最大的生產率和吞吐量。
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