二手 HAMAI 16B #9252227 待售

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ID: 9252227
Polishing machine With polishing plate 2008 vintage.
HAMAI 16B是一種先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備,旨在提供高精度的成品晶圓表面,具有無與倫比的一致性和質量。該系統采用獨特的兩級研磨工藝,用於平面和曲面應用,可實現多種基板金屬精加工,包括低、中、高密度和超高密度晶圓投影校正和拋光(PPCP)。HAMAI 16 B單元采用重型鑄鐵部件和預加載伺服電機,以實現平穩、精確的運動控制。還包括一個數字閉環溫帶控制機,用於精確的溫度監測和反饋,以獲得最佳性能。其兩級研磨工具采用具有恒定扭矩、可變角度研磨頭和擺臂電機轉速的精密擺臂設計,以確保晶圓表面的快速精確調制和精加工。此資產能夠生產具有超低表面粗糙度要求、公差高達1 nm間距精度±元件,並且模具尺寸拒絕範圍為70 µm或更小。16B還具有可調節的砂輪速度,可實現細膩的低剛度、纖薄、堆叠的半導體材料層。車輪轉速可由10-250 rpm調整,並配有水冷,防止基板溫度過高。該型號還配備了單色計量設備,確保了晶圓成品特性的精確度,使得這臺機器非常適合各種日益苛刻的制造和應用。操作環境溫度範圍為0到40°C,相對濕度範圍為20%到80%,這種研磨研磨機是完成工作的完美全才。
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