二手 HAMAI 16BF-4M-5L-2L3M #9273144 待售

HAMAI 16BF-4M-5L-2L3M是一種多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體制造和其他精細表面拋光應用。該系統的四個電動機設計可提供多達五個磨削和研磨軸,並且能夠在超光滑的表面上產生鏡面光潔度。該單元由研磨板、研磨主軸和拋光墊三大部分組成。研磨板是工件支架，可在進行研磨和研磨過程時快速固定工件並將其固定到位。研磨主軸是實際的研磨和研磨頭,其中包含能夠提供達到所需精加工所需的精確運動的馬達。拋光墊是一種可調節的板，設計用來固定拋光膜，通常應用於研磨主軸。研磨板有一個集成的自動夾緊機，專門設計用於在晶片加工過程中牢固地握住晶片。夾緊工具由一對機械夾具和氣動缸組成，用來自動擰緊和釋放夾具。研磨主軸是一種三軸旋轉機構，帶有驅動馬達和三個執行器，允許研磨和研磨頭在x、y和z方向上移動。磨削主軸還具有冷卻資產,可防止刀具和工件在加工過程中過熱。拋光墊是一個兩軸電動底座，使拋光膜能夠精確定位在主軸周圍。拋光墊是可調的，以適應不同的薄膜厚度和設計，以減少振動和改善片的光潔度。該模型能夠產生具有精確邊緣幾何形狀的高質量超光滑鏡面。整個過程可以監控和調整以獲得最佳性能，設備緊湊節能，幾乎不需要維護。16BF-4M-5L-2L3M是研磨、研磨和拋光各種晶片和基材的絕佳選擇。其多才多藝的設計和先進的技術使其成為要求苛刻的精密生產應用的理想選擇。