二手 HAMAI 16BF-4M-5P #9195534 待售

HAMAI 16BF-4M-5P是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體和光學行業的高精度和高通量。這種先進的系統能夠生產具有緊密尺寸公差和極光滑表面的晶片，以及高反應性離子蝕刻（RIE）均勻性和緊密的角圓性能。16BF-4M-5P由安裝在底板上的垂直主軸磨床組成。主軸安裝有懸架臂，可在研磨和拋光過程中進行微調速度和壓力調整。主軸使用變頻驅動單元供電，最高轉速為20,000 RPM，可編程至1,000,000 RPM。該機使用了一個精密的刀架，該刀架持有多種磨料工具來執行不同的研磨和拋光任務，包括金剛石、碳化物和陶瓷材料。磨床由一個連續進料單元進料，該單元通過電動滾筒機在工作臺上移動。HAMAI 16BF-4M-5P有一系列不同晶圓尺寸的選項，可以加工100 mm-300 mm的基材，最大厚度為15mm。研磨拋光工藝在兩個獨立的腔室進行，第一個腔室用於研磨，第二個腔室用於拋光。機器的總容量一次最多可達5片晶圓。此外，該機還配有水冷卻器和主動振動控制裝置，以確保磨削和拋光過程中的最佳溫度和振動水平。16BF-4M-5P專為高吞吐量生產而設計,無需連續手動控制。相反,可以將資產設置為無人值守運行長達24小時。此外,自動化數據記錄模型允許操作員實時監控研磨、研磨和拋光結果,從而能夠快速識別工藝趨勢、評估效率和人力需求,並快速排除可能出現的任何問題。HAMAI 16BF-4M-5P是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足半導體和光學行業的需求。它能夠生產具有光滑表面和緊密尺寸公差的晶片,並具有出色的角圓性能,而其自動化數據記錄系統可確保高吞吐量和降低人工成本。