二手 HAMAI 16BF-4M #9257668 待售

HAMAI 16BF-4M
ID: 9257668
優質的: 2010
Double-side polishers (4) Motors No tank 2010 vintage.
HAMAI 16BF-4M(H-16)是一種晶圓研磨、研磨拋光機械設備,專為高效生產光電、半導體和其他微設備部件而設計。該系統由一個集成平臺中的四個不同階段組成,旨在提供快速高效的處理。第一階段是研磨過程,利用金剛石研磨輪從晶圓邊緣和表面精確、精確地去除極少量的材料。第二階段是研磨過程,其中晶片暴露於合成漿料和金剛石顆粒的組合中,與拋光布配合起作用,去除磨削階段未經管理的較細雜質。第三階段是拋光階段,使用毛氈基拋光墊來達到優越的表面光潔度。第四階段是清潔階段,利用壓縮空氣清除灰塵、碎屑和拋光殘留物。該單元還配備了ARM-BASED CPU Controller,配有開源Linux操作機器,允許實時數據記錄和過程的完全自動化。先進的晶片處理工具提供了高度精確的晶片對準,以提高質量,並且晶片到晶片的有效循環時間小於15秒。此外,H-16還配備了一個用戶友好的觸摸屏人機界面,用戶可以輕松快速地監控過程。該H-16還配備了幾個外圍設備。1300mm x 400 mm雙軌X-Y表允許多步定位和晶圓處理。4KW的除塵資產有助於保持清潔的工作環境,並最大限度地降低過程中產生空氣中灰塵的風險。該模型在晶圓級處理室旁邊提供了一個自動噴霧研磨流體分配器,用於漿料的混合和儲存,其容量為3L。該設備易於安裝、維護和升級,是生產線的理想選擇,維修和清潔的停機時間最短。這種晶圓研磨、研磨和拋光系統是生產微型器件的有效解決方案,可以作為一個獨立的單元或作為集成生產線的一部分。
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