二手 HAMAI 16BF #9250065 待售
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單擊可縮放
ID: 9250065
優質的: 2010
Polisher
(4) Motors
No slurry tank
SUS Polishing plates
Manuals included
2010 vintage.
HAMAI 16BF晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種自動化、高精度和經濟高效的混合系統,專為先進的半導體加工而設計。這一技術先進的單元可用於將矽膠晶片精確拋光和研磨成各種應用的精確形狀和尺寸。16BF非常適合產生高無錯誤表面,並且能夠產生優於0.13 µm的平面表面光潔度。機器由三個組件組成。主要單元為研磨/研磨/拋光階段。它由驅動研磨/研磨金剛石圓盤的兩個獨立的電動主軸組成。第二個單元是晶圓座。它包含一個可移動的高精度卡盤，能夠精確地定心單個晶片或一堆晶片。HAMAI 16BF的第三個也是最後一個組成部分是允許用戶調整流程參數和監控整個流程的電子控件。16BF利用先進的傳感技術在加工過程中檢測和測量晶片的表面地形。電子控制的主軸還允許自動調整RPM,以實現高精度和均勻性的表面光潔度。研磨/研磨過程還包括在機器循環中對晶片施加真空。這使得處理時間非常短,且精度和可重復性最高。HAMAI 16BF是提供高精度拋光和晶圓研磨的行業領導者。該工具自動化、靈活，並配有先進的控制系統，可確保可重復性和高精度。其先進、高精度的加工結合了研磨、研磨和拋光功能,使各種材料的表面精加工成為可能。16BF獲得的精確表面光潔度可以滿足最苛刻的半導體加工要求，是成本敏感應用的理想解決方案。
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