二手 HANYANG HY-P/C #9378334 待售

HANYANG HY-P/C是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於在晶圓上產生極為平坦的表面，用於半導體工業。該系統能夠處理多種晶圓材料，包括矽、砷化移銨和氮化鋁，僅舉幾例。該單元具有堅固的框架,可確保精確的結果,同時實現嚴格的公差。HANYANG HY-P/C配備了多種特性，具有優越的研磨、研磨、拋光性能。該機由兩個截然不同的站組成：一個可調主軸站和一個固定位置的壓板站。主軸和壓板的這種組合在創建定制配置以實現更高的生產吞吐量方面提供了更大的靈活性。此外，該工具配備了一個強大的電機與速度控制，允許精確的過程控制和過程可重復性。該資產還能夠計量正確數量的研磨工藝磨料和研磨介質。可調主軸站采用特殊的刀具臂和頭組件，在晶圓表面軸向和徑向移動磨輪。此外，各種可調參數將允許裁剪研磨工藝。這些參數包括主軸速度、進料速率和磨料應用速率。這樣可以對大晶圓表面進行精確研磨。Platen station包含一個可調節的電動XYZ表,其中包括一個動態的主軸箱和尾梁,它們在處理過程中將晶片固定在適當的位置。這樣可以確保每次都能進行一致且可重復的研磨。可調板具有可調的Z軸，以控制研磨過程的深度。最後，研磨拋光站使用金剛石加工來使晶片的表面達到所需的規格。金剛石模具通過一個膝蓋支架進行應用，並將膝蓋推到晶圓的旋轉臺上，以達到高度拋光的光潔度。綜上所述，漢陽HY-P/C模型是一種堅固、精密的晶圓研磨、研磨、拋光設備，能夠加工各種晶圓材料，同時確保可重復的工藝效果和生產吞吐量。