二手 HOFFMAN PR-1 66T #9234491 待售
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已售出
ID: 9234491
Lappers
(5) Carriers
Part circle: 5"
Root diameter: 5.3"
Top plate:
Part number / Material
ME135 / Aluminum
ME136 / Aluminum
ME137 / Aluminum
Bottom plate:
Part number / Material
ME135 / Cast Iron
ME136 / Cast Iron
ME137 / Cast Iron
Center ring:
Part number / Size
ME135 / 5"
ME136 / 5"
ME137 / 5"
Outer ring:
Part number / Size
ME135 / 16"
ME136 / 16"
ME137 / 16"
Top plate:
Part number / Size
ME135 / 14"
ME136 / 15 1/2"
ME137 / 15 1/2".
HOFFMAN PR-1 66T是一種多功能晶片研磨、研磨和拋光設備,旨在實現晶片加工的最高精度和精度。該系統提供了各種各樣的功能和功能,使用戶能夠完成要求最苛刻的晶圓研磨和拋光任務。該單元采用不銹鋼外殼和底座,配有四個相互連接的部件--磨床、拋光站、研磨站和加工室。研磨站采用高精度主軸電機,可以將晶片研磨到50 µm或更低的厚度。此外,該站還裝有微米驅動的裝卸裝置,以及電動重力進料機和固定橡膠墊,用於將晶片固定到位。拋光站配有高扭矩拋光電動機,能夠提供穩定、低振動、低噪聲的過程。該站還配備了自動清潔工具,可用於清洗和沖洗處理之間的拋光介質。研磨站包括超精密電機和轉盤,以及用於調節研磨參數的自動控制,以確保精細、均勻、可控的拋光。它還包括一個集成的皮帶清洗資產和泥漿模型,以減少手動研磨和清潔的需要。該工藝室配備了獨特的技術,確保對工藝的精確控制和高質量的工藝結果。它是一個溫度控制的環境,振動和噪聲水平低。它也被密封,以便在加工過程中使用惰性氣體。總之,HOFFMAN PR-1-66T是一種通用的晶圓研磨、研磨和拋光設備.它旨在為用戶提供所有晶圓處理任務的最高精度和精確度。該系統由耐用的不銹鋼框架和四個相互連接的組件構成,具有一系列先進的功能。所有這些組件都設計為提供穩定、低振動、低噪聲的過程,可以為晶圓處理產生最精確的結果。
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