二手 HOFFMAN PR-1 #293822979 待售

HOFFMAN PR-1是一種高精度、重型的研磨和拋光設備，設計用於半導體矽、化合物和絕緣體復合（COI）晶片。該系統能夠生產工業標準的研磨和拋光，如低-K （K值低於1.3 K Ω/V）、電導和先進的金剛石拋光。HOFFMAN PR1產生的電氣特性和表面輪廓也相當適合光刻工藝。PR-1單元的核心是一個三階段的過程，允許精確的控制，自動化，和均勻的研磨和拋光。該工藝由兩個研磨階段和一個拋光階段組成，每個階段都有不同的研磨參數，這樣就可以達到所需的工藝完成等級。磨削的第一階段涉及使用金剛石線鋸或磨輪。該級用於粗磨，定義晶圓的整體形狀。金剛石線鋸能夠產生應用程序所需的任何表面輪廓深度,從0.1毫米到1毫米。磨削的第二階段涉及使用固定的磨輪或拋光機。此階段用於微調表面光潔度。使用固定的磨輪或拋光機可以調節微觀輪廓的不規則性、粒徑和表面粗糙度，特別是在試圖達到復雜的過程時。過程的最後階段是拋光階段。在這個階段，晶片噴灑有矽膠或金剛石顆粒的漿液，同時以軌道模式輕輕移動。該拋光級設計為使晶片表面光滑，達到高精度的平坦度。PR1是適用於各種晶圓研磨、研磨和拋光應用的理想機器。它為用戶提供了控制輪廓精度、表面粗糙度和成品晶圓電氣特性的能力。該工具非常適合用於半導體晶圓制造和其他研究領域，如先進的光刻技術。