二手 IPEC 472 #9144775 待售

IPEC 472
ID: 9144775
晶圓大小: 6"
CMP Polisher, 6".
IPEC 472是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在實現半導體器件元件的高精度制造。該系統能夠產生均勻的曲面,包括為光學級應用而設計的曲面,並且在一系列材料中具有很高的吞吐量。472使用IPEC加速器工作站構建,這是一種獨特的閉環研磨和拋光技術,具有集成的閉環控制和反饋。該單元包括一個緊湊的研磨拋光機器人,它將晶圓材料樣品自動移動到研磨拋光站上方。固定式磨光輪具有高扭矩定子和可針對不同材料特性和應用目標進行調節的行星底盤。數位電機驅動機控制研磨和拋光過程,以確保一致的結果。驅動器能夠以可變速度運行,從而允許操作員調整特定應用程序的過程。車載計算機提供對工藝參數的實時監控和數據記錄,包括研磨速度、拋光速度和車輪壓力。可為每個示例運行調整進程參數和數據日誌記錄。該刀具與一系列晶圓材料兼容,包括矽、​​和砷化的材料。IPEC 472還配備了處理多種其他材料,如鉆石、熔融二氧化矽、金屬等。提供了一系列研磨和拋光配件,以幫助確保每個應用程序的最佳效果。472是一個可靠的自動化資產,它提供高精度的處理功能,並具有一致的結果。該模型能夠實現緊密的公差和光滑、均勻的表面,使其能夠在一系列半導體器件制造應用中使用。
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