二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #293750181 待售

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M
ID: 293750181
Systems WSI Chamber.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種高性能、自動化的半導體晶圓精密研磨、研磨和拋光系統。該設備提供高速度、高質量和可重復性,以實現準確的處理。IPEC 372M采用多軸設計,創造出理想的磨削和拋光運動,以實現嚴格的公差。該運動是為標準應用程序配置的,或者可以為特殊應用程序定制。精密的空氣軸承主軸提供平滑而嚴格的運動,並由數字控制器支撐。主軸轉速可從10轉到4000轉。該機器包括一個晶片夾緊工具,以有效地將晶片固定在卡盤上。可以使用可選的索引機制將卡盤索引到特定位置,從而實現精確且可重復的處理。資產中使用的潤滑油是水基的和環保的,以防止晶片汙染。采用整體過濾模型對潤滑劑進行過濾,提供精確的工藝控制.設備還提供遠程監控功能,允許用戶遠程監控和調整流程。WESTECH 372M需要最少的清理,並且易於操作,而且培訓很少。該系統還為外圍設備提供了多種選擇,如更高的速度操作、特殊的葉片幾何形狀、工業空氣清洗系統以及更精細的磨料介質。SPEEDFAM 372M是晶圓研磨、研磨和拋光的可靠、高效和精確的解決方案。它旨在滿足最苛刻的晶圓加工需求,適合廣泛的加工要求。372M具有高速度、精確度和重復性,是實現精確結果的理想單位。
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