二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191766 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一種功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光系統,專為高通量和精密應用而設計。它具有堅固可靠的設計，並融合了一些先進的功能，如自動金剛石梳妝臺和自動過程控制系統。IPEC 372M機具有可變的主軸轉速和可變的金剛石車輪旋轉，可對晶圓研磨和拋光操作進行精確控制。該機可以手動或自動模式操作，並具有直觀的HMI，便於設置和操作。集成的自動金剛石梳妝臺能夠在必要時修整磨輪。自動過程控制系統不斷監測和調整系統，實現精確一致的結果。晶圓磨頭的最大進料速率為2000毫米/分鐘，設計用於研磨薄膜層和表面特征，具有較高的可重復性。它有一個可調的沖程限位止動，以防止層的過度或不足磨削。集成的晶圓拋光頭最大拋光速率為4000毫米/分鐘，非常適合邊緣舍入和表面精加工。也可用於類似薄層的鏡面拋光。除了晶圓研磨和拋光外，WESTECH 372M機也可用於研磨操作。它配有一個旋轉臺和可調節的止動塊,可進行精確的圈速深度控制,以及一個機械驅動器,可實現高切割精度和可重復性。由於其堅固的設計和全面的特點，372M能夠承受惡劣的生產環境，特別適合半導體制造、晶圓後磨等高精度工業操作等應用。