二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191775 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於許多半導體鑄造廠制造晶圓光刻面膜。該系統旨在以具有成本效益的方式提供高精度。該機組配備高精度研磨機，20循環可控研磨工藝，10循環研磨工藝，8循環拋光工藝。該工具使用觸摸傳感器和3D軟件包，通過不斷監控和控制研磨區域的寬度和位置，確保研磨精度。這允許將晶片磨削到低至0.25 μ m的平均粗糙度值（Ra）和0.2 μ m的最大表面粗糙度。研磨過程能夠達到3 μ m以內的平坦度進行平面化，並達到所需的表面光潔度。砂輪是一種金剛石顆粒的復合材料，具有最大的銳度和性能。該資產還設計用於最佳研磨和拋光，使其達到± 2 μ m的最大晶圓厚度均勻性。研磨拋光過程在整個過程中采用可控的晶片振蕩，以確保達到均勻的光潔度。所使用的研磨液體是一種特殊的高級液體，提供最大的潤滑性和性能。拋光工藝采用扁平圈和橡膠基膝墊的組合，以達到所需的光潔度。該型號連接到一臺帶有基於Windows的操作設備的PC上，從而便於操作和維護。該系統還配有各種傳感器和電源，可以用來控制設備。該機器還提供了使用機械臂制造原型和小規模生產運行的選項。該工具是晶圓研磨、研磨和拋光應用的經濟高效的解決方案。其高精度研磨研磨能力，使得高質量、低成本的微電子器件得以成功生產。低成本和易於操作使得它成為幾乎所有半導體鑄造廠的絕佳選擇。