二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191777 待售

ID: 9191777
晶圓大小: 8"
STI Oxide CMP system, 8".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶片研磨、研磨和拋光設備設計用於提供半導體晶片和其他硬質、脆性基板的高精度表面制備和成型。這個系統可以加工直徑不超過8英寸的基板。IPEC 372M具有晶圓傳輸單元,允許在研磨、研磨和拋光過程中單次執行多個步驟。該過程在安裝在機器研磨頭上方的4軸臺上進行。該表采用變速驅動器,可嚴格控制研磨、研磨和拋光速度。這些轉速可從0.2轉調整到350轉。WESTECH 372 M的磨頭由直徑8英寸的旋轉臺組成,具有四個金剛石磨輪和四個可調節的背板。這種靈活的設計允許晶片上任意角度、斜面或平坦表面的研磨精度高達1 μ m。可調的背襯板也有利於一個可重復、精確和無汙染的處理環境。372M提供各種研磨和拋光選項,以及不同工藝的多種介質選項。采用特殊的拋光輪來實現優越的表面光潔度,而創新的頭部設計則確保頭部的運動與桌子的運動完美同步。這既確保了過程的一致性,又減少了磨削不規範的風險。SPEEDFAM 372M晶圓研磨、研磨和拋光工具由優質部件制成,可獲得最佳性能和使用壽命。該資產還提供符合人體工程學的設計,確保操作員的安全和舒適。此外,此型號完全自動化,並附有三年保修期,可讓您放心。所有這些特性使IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶圓研磨、研磨和拋光設備成為滿足許多精密表面制備和成形需求的理想解決方案。
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