二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191784 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一種多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於矽和其他復合半導體材料。該系統采用先進的微震研磨技術，在直徑達12英寸的矽片上產生幹凈光滑的表面。該單元有3個子系統-螺旋槳、研磨機和研磨/拋光站。Prober可以測試晶片表面地形並檢測異常,同時與PC和PCI-bus 19英寸機架式數據采集硬件連接。每分鐘最多可運輸6個晶圓，最多94個晶圓。它還擁有1/2 hp直流電機傳動、配備4向手動換擋的30 「X 30」鋼NEMA 12平臺，以及用於晶圓快速準確處理的4軸運動控制。磨床子系統采用先進的高速、高精度磨床，在降低晶圓生產時間的同時，提高了均勻性和產品質量。這些磨床在4個軸上使用36個電動級，帶有5軸至6軸CNC控制機。還擁有300 mm X 50mm X 35mm研磨平臺、精密直線軸承、雙軸承自動化。精度在0.1微米以內，總研磨能力為每分鐘330mm。研磨/拋光站使用兩個機器人子系統對晶圓進行精確研磨和拋光。它還采用溫水冷卻和潛水加熱器和閉環流動工具，以有效冷卻。研磨/拋光站有6個金剛石研磨預拋光頭，一個數字控制器，以及精選的研磨和拋光膜。總拋光能力為28mm/分鐘。IPEC 372M是一臺最先進的機器，長期生產質量最高的半導體晶片，性能卓越。是理想的晶圓研磨拋光機，提供精密表面研磨、切割、拋光等全方位服務。該機設計為提供最高精度和可重復性，以確保生產過程中的質量和性能一致。