二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #25450 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種高精度的自動化組合機床，用於半導體、裝飾和工業市場。該IPEC 472系統是一個工程解決方案，結合了機器設計、運動控制和占空比自動化方面的最新技術。此單元具有獨特的表格設置,通過用戶友好的觸摸屏界面,通過其通用的串聯過程控制功能,可以處理各種部件。該機由三個主要部件組成：型材導軌、砂輪和研磨/拋光板。Profile Rail設計用於一次最多三個晶片,可根據每個晶片的長度、寬度和厚度進行調整。磨輪由強大的交流電動機提供動力，能夠在廣泛的速度範圍內實現恒定的精度。它還配備了一個自備的除塵機，用於防止晶圓斷裂。研磨/拋光板的設計易於調節,適用於多個晶圓尺寸和厚度。它還配備了一個超精確的修整閥，用於對研磨/拋光過程進行精確、可重復的控制。WESTECH 472集成了閉環前置加載自動化工具,能夠通過自動回推和重新包裝階段處理多部分批次。它還能夠去殼和剖面晶片，去除研磨毛刺和膝蓋或拋光晶片的表面。該機的研磨精度小於1 um，研磨/拋光精度小於0.3 um，具有延長長度和最小熱漂移的亞微米線性精度。SPEEDFAM 472也可以采用廣泛的可變夾具進行改裝，允許用戶修改機器以適應他們的具體要求。此外,該機器還配備了隔振功能,可實現超平滑操作,從而實現高生產率,並對正在加工的零件產生最小的振動影響。472為操作員提供了一個處理敏感晶片的高度精確、高度可配置和安全的平臺，能夠在一組可調參數內實現高度精度和可重復性。它還能夠通過持續提高產量和最大限度地減少停機時間來節省大量成本。