二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9028335 待售

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ID: 9028335
CMP system Has run Oxide and Cu Currently in storage Can be inspected 1998 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一種多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備,廣泛應用於半導體工業。該系統旨在支持12或15英寸晶圓當量的所有工藝,適用於低批量和大批量生產。該單元配備了7軸可編程控制和力反饋機,以確保一致的研磨壓力。IPEC 472配備了廣泛的研磨輪和金剛石研磨盤,允許晶圓精細研磨到納米精度。其符合人體工程學和直觀的設計使得在研磨和研磨過程之間快速切換成為可能,而無需用戶幹預。該工具采用高性能漿料資產設計,用於拋光柔軟和細膩的材料,以及用於關鍵沈積和清潔基材,從而創造出最佳的光潔度。WESTECH 472適用於多種材料,如矽、III-V化合物、SiGe、InP和GaAs,以及一些鐵磁材料。該模型還具有加工晶片載體以及開孔和閉孔拋光的能力。472是實現精確、高質量、均勻的表面光潔度和最小停機時間的強大工具。其集成的診斷設備和警報功能使用戶能夠快速發現和發現任何可能延遲該過程的問題。此外,它的模塊化設計使得未來的升級、維護和擴展變得非常容易。簡而言之,SPEEDFAM 472是半導體行業可靠、精確、通用的晶圓研磨、研磨和拋光系統。
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