二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9135545 待售

ID: 9135545
晶圓大小: 8"
CMP Polishers, 8" Fully automated precision polishing Two platens, temperature controlled Polish head clean station Three slurries Down force from 0.5 – 60 psi Platen speed 10 – 175 RPM Wafer carrier speed 10 – 125 RPM Down force up to 750lbs In‐situ pad conditioner.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一種晶圓研磨、研磨拋光設備,設計用於半導體、光學和電子基板的超精密處理。它基於裝有金剛石磨料的高速主軸的先進技術。該系統配有多軸運動控制器,可在加工過程中精確操縱晶片。IPEC 472具有安裝在剛性刀架上的多達4個磨削和研磨頭,能夠產生極小粘合表面缺陷的超光滑表面。它的高速旋轉加快了加工過程,並允許高吞吐量。主軸的轉速從6,000 RPM到13,500 RPM不等。載流子可以被修改以支持包括半導體、光學或電子器件在內的多種基板。該單元自動化,並配備自動對準、自動調平、自動切削深度、可變壓力和可變主軸速度等可編程功能。它有一個直觀的用戶界面,可以方便地設置和編程機器。該工具還具有多級晶片保護資產,在加工過程中保持拋光和研磨碎片遠離基板。這樣可以減少在加工過程中損壞基板的機會。WESTECH 472的X, Y線性運動分辨率降至0.00004英寸,Z軸可重復性降至+/-0.0002英寸,也非常精確。該模型的精度確保了在加工過程中轉子轉速控制和基板定位的一致性。472具有用戶友好的基於PC的軟件設備,具有圖形控制和圖形反饋,可提供有關加工操作的數據。該軟件提供了自定義選項以及用於加工參數控制的有效系統。總體而言,SPEEDFAM 472是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,旨在提高半導體、光學和電子基板的表面完整性和精度。這臺機器具有卓越的性能、精確度和靈活性,適用於各種制造應用。
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