二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足半導體行業的需求。該系統是為高精度、高生產率和低擁有成本而構建的。它包括一個自動晶圓更換器，CCD表面輪廓測量和多個主軸磨削/拋光頭，以減少循環時間和最大的單位性能。IPEC 472由一個包含三個加工站的單一外殼和一個機器控制單元組成。該站包括研磨/拋光站、研磨站和可選的附加加工站或檢測站。磨削/拋光站最多可容納八個加工頭,並利用CCD自動表面分析工具監控和調整磨削/拋光過程以獲得最佳性能。將金剛石分配資產與研磨/拋光站集成在一起，以便快速準確地應用金剛石，而不需要操作員幹預該過程。研磨站最多配備三個可調節的研磨頭，用於根據應用要求實現所需的平整度、平滑度和表面輪廓。研磨站還包括一個粒徑和振動分離器，用於快速有效地分離金剛石漿粒。可選擇的附加站或檢測站配有顯微鏡，用於目視檢查能力，並配有激光幹涉儀，用於精確的非接觸式測量和反饋過程中的結果和/或過程的在線控制。WESTECH 472包含各種功能,以幫助確保最大的模型吞吐量和質量結果。專有的過程控制體系結構提供精確的過程控制,包括主軸速度、壓力和定時。伸縮晶片裝載機允許將晶片的全自動裝卸直接裝入機器的送貨設備。公用機櫃提供清潔幹燥的壓縮空氣和冷卻水過濾系統。此外，真空過濾裝置有助於維持閉環過程，以減少危險的灰塵汙染和操作員接觸。總體而言,SPEEDFAM 472是一種可靠且生產高效的機器,它是為晶圓研磨、研磨和拋光的最高精度、效率和產量而設計的一系列機器的一部分。該工具適用於復雜的晶圓研磨、研磨和拋光應用，是尋求高吞吐量、低擁有成本、低ppm處理的制造商的理想選擇。