二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9216748 待售

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ID: 9216748
Polishers.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種工業級的自動化晶圓精加工系統,專為大批量生產而設計。該機采用先進的SiemensSinumerik 802D CNC控制和60kW磨削主軸電機同時運行。這個高品質、工業級的單元能夠處理小至300微米、最大直徑200毫米(8英寸)的晶片。研磨、研磨和拋光工藝既精確又高效,這要歸功於具有3軸旋轉作用的先進精密研磨頭。這頭是能夠單點金剛石磨削,這創造完美平坦,光滑的表面。兩軸同時操作通過消除重叠並為每個軸提供轉速調節來確保精確的表面生成。該機還具有拋光頭和壓力調節器,可在低磨削力下有效去除物料。這種壓力調節器允許低接觸壓力實現最佳材料去除,內置的加速度計自動將壓力調整到晶圓的大小,以最大限度地延長刀具壽命。集成的LSI錯誤檢測工具監視所有傳感器和執行器,以確保正常運行並最大程度地減少停機時間。包括真空和壓力控制輸送機資產,用於手動進料和自動晶片處理。還包括刀具更換器和刀具存儲,用於增加磨削過程之間的正常運行時間。機器被封閉在密封環境中,以保護加工後的晶片免受環境汙染。過濾模型包括HEPA過濾器和空氣加濕器,以保持設備內部空氣清潔並提供穩定的濕度水平。總體而言,IPEC 472晶片研磨、研磨和拋光系統是工業級高產量先進設備。它配備了先進的數控、機頭和各種傳感器,包括壓力調節器、LSI誤差檢測器、刀具儲存器、空氣濾清機以及封閉的清潔環境,都使刀具成為大型晶圓精加工應用的理想之選。
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