二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9223925 待售

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ID: 9223925
Polisher.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圓研磨、研磨、拋光設備是用於微電子元件精密表面平面化的最先進的系統之一。IPEC 472專為滿足研究和生產需求而設計,可提供最大的吞吐量和始終如一的高質量結果。該系統的特點包括:剛性、減振底座、低調、由交流伺服電動機驅動的懸掛式臺架、高扭矩行星磨削驅動單元、帶PID閉環控制的全可編程直流伺服電動機、用於快速縮小尺寸的持久氧化鋁粘結研磨板以及各種基板的一系列磨料介質。本機可容納25毫米的最大晶圓尺寸,對準精度為0.07mm,可實現高精度的快速研磨和拋光循環,從而可以高效生產高質量的元件。此外,該工具還提供出色的環保和安全功能,包括低噪聲操作、灰塵提取和過濾以及火花檢測。該資產可用於廣泛的應用,包括金屬和介電去除、透熱、薄膜沈積以及高性能電氣設備的光滑最終表面。WESTECH 472旨在在生產環境中提供可靠的高精度結果,提供最大吞吐量和一致的質量結果。
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