二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9224973 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶片研磨、研磨和拋光設備設計用於對多達8英寸（200毫米）晶片進行高效再噴射。這種高性能、自動化的系統是一種用於超精密研磨、研磨和拋光的可靠且可重復的解決方案。IPEC 472提供高均勻度和高垂直能力。機器帶有一個4站旋轉木馬，一次最多可裝載4個晶圓。每個工作站包括一個獨立的電動研磨/拋光頭，以及兩個用於研磨和切割的X/Y刀片。該機可處理III-V半導體、SiC、軟金屬、藍寶石、自旋玻璃和石英等各類材料。用戶可以根據工藝要求設置參數，提供準確一致的精密研磨和拋光工藝。該單元與用戶友好、直觀的圖形用戶界面（GUI）集成,具有自動配方和流程程序,提供自動停止、自動重復和自動提要緊急關閉等功能。強大的安全功能和先進的機器人技術提供了卓越的可靠性和改進的可重復性,使操作員所需的時間最小化。WESTECH 472還包括一臺高共振驅動機器，能夠實現高研磨速度和分辨率，同時消除使用過程中的熱負荷。高效真空工具可確保有效收集晶片和研磨/拋光解決方案,而集成的過濾設備可確保清潔的工作環境,沒有空氣中的汙染物。SPEEDFAM 472還配有一個可調晶片架和卡盤，設計用於快速裝卸多達8英寸晶片。該支架是為大型、重型晶片而設計的,並被機械地夾緊,以便牢固地固定.此外,用戶還可以通過IPEC資源中心軟件套件對該工具進行編程和控制。該套件提供全面的流程監控、統計流程控制工具、快速流程優化和數據管理。472晶圓研磨、研磨和拋光模型是一種優化的解決方案,它以經濟的成本以極高的精度提供最高的生產率。以其精確、準確、一致的結果，廣泛應用於半導體和電子元件行業。