二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9242698 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於半導體晶圓的高精度表面精加工。IPEC 472由300馬力的電動機提供動力，具有通用驅動板，可與多種板配合使用，包括旋轉研磨和研磨板，或線性研磨和拋光板。該系統有四個獨立的工件，允許同時研磨、研磨和拋光多個晶片。該裝置具有多種研磨模式，包括往復研磨、跳線研磨和蠕變進料研磨。往復磨削用於以固定的進料速度輕輕磨掉表面材料，以獲得更高的表面光潔度精度。直接磨削模式允許磨削到指定的深度。采用蠕變進料磨削法對大零件進行大批量加工，在保證優良表面光潔度的同時，提供快速脫料。通過使用高壓冷卻劑機也可以實現較高的庫存去除率。WESTECH 472的研磨能力通過其電子排量工具得到增強，該工具不斷監測和調整圈式壓板的壓力，以確保最大的表面光潔度精度。該資產可用於非磁性元件的靜電卡盤或磁性元件的真空卡盤。SPEEDFAM 472的最後階段是拋光工藝，利用循環振動介質實現超光滑的飾面。振動介質由獲得專利的伺服運動控制器控制,可確保多個零件的最大精度和可重復性。控制器還具有光學發射模型,它允許對晶圓進行詳細檢查。472是在半導體晶片上研磨、研磨、拋光高精度表面的完美解決方案。其強大的電機、通用的研磨和研磨模式,以及精確的拋光功能,使其成為要求苛刻的應用程序的理想選擇。