二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9259783 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於生產高精度、高質量的晶圓。該系統采用先進的氣流設計，在處理過程中控制灰塵和空氣中的微粒，並具有若幹單元增強功能，以提高晶圓的完整性和可重復性。該機的主要特點是高精度旋轉主軸，設計用於生產特征性極小的高質量晶片。該主軸具有極高的精度,可控制的角加速度高達100轉速/秒,最大主軸轉速為2000。該工具還配備了一套先進的傳感器，以確保精確讀取晶片的表面光潔度和形狀，確保可重復性和準確性。資產有兩個運輸階段，設計用於將晶片從裝載站移動到研磨/研磨/拋光頭。第一級利用真空提升和移動晶片，第二級利用先進的空氣懸浮模型將晶片從一個站轉移到另一個站。該設備消除了振動和空氣湍流，導致光潔度更平滑，晶圓損壞更小。系統中還包括一個可選的冷卻裝置,可用於在研磨/研磨/拋光過程中保持每個工作站的溫度一致。這樣可以防止產生熱效應,並有助於確保晶片在相同溫度下得到一致處理。最後，通過提供實時數據分析、過程參數控制和過程歷史管理的高級接口對機器進行控制。這確保了改進的工藝精度、重復性和可追蹤性,所有這些對於高精度晶圓處理都是必不可少的。最後，IPEC 472是一種先進的晶片研磨、研磨和拋光工具，專門為生產高精度、高質量的晶片而設計。它具有獨特的設計、高級功能和資產增強功能,可確保始終準確、可重復和可跟蹤的過程,所有這些對於生產高精度晶片至關重要。