二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384488 待售

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9384488
晶圓大小: 6"
CMP Systems, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是最先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統設計用於從多晶矽等材料的單個晶軸磨削、研磨、拋光平坦、中低克拉晶片。它可以用於從薄膜拋光到平坦、低反射率表面的各種應用。該單元可處理直徑不超過12英寸的晶片,並具有能夠實現低表面粗糙度的變速驅動機器。IPEC 472采用變速主軸輪和副主軸輪來實現高精度。四軸定位器允許晶片相對於主軸精確定位,以實現完整的表面處理和一致性。該工具還配備了先進的軟件,用於進行可靠、可重復的數據分析和晶圓計量,從而實現了可實現的表面。該資產還利用綜合排氣罩確保適當的除塵和空氣質量管理。它還能夠監測壓力水平和其他相關信息,以防止對晶片的潛在損害。而且,與手工研磨和拋光工藝相比,WESTECH 472可以實現更高水平的均勻性。它還被設計為具有成本效益,並為用戶提供對工藝的更大控制,以確保達到所需的表面質量。總而言之,SPEEDFAM 472是最先進的晶圓研磨、研磨、拋光模型。它能夠通過變速驅動設備精確研磨、研磨、拋光中低克拉晶片,達到高精度。此外,其集成的排氣罩、壓力監測系統和先進的軟件確保了安全、經濟高效和可重復的晶圓研磨和拋光工藝。
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