二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #8353 待售
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ID: 8353
Orbital CMP tool
With APC
Upgraded to 500 MHz Pentium computer
Configuration:
(3) Cassette litter load / Unload station
Advanced pad motion control
High speed polish drive: 0 to 600 RPM
Closed loop delta P control
End point detection system
Stainless steel polish bell
(2) Pad conditioners.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶片研磨、研磨和拋光設備設計用於高效、高效、精確的晶片制備,用於半導體工業。該系統由集成研磨/拋光臺、研磨/拋光頭、可調工作臺蓋、漿料和潤滑劑輸送以及過濾系統組成。工作臺和磨頭由一個剛性和可調節的平臺組成,允許跨各種角度、厚度和形狀進行一致的物料去除控制。可調表蓋為磨頭和工作臺提供保護,同時將溫度保持在一致的範圍內,並盡量減少氧化或汙染的可能性。餐桌蓋還用作防塵蓋,防止顆粒物進入研磨/拋光區域。漿料和潤滑劑的輸送設計是為了優化應用於晶片的物料量,過濾系統將顆粒的損傷保持在最低限度,並確保只達到最精細的拋光表面。該裝置既采用化學/機械工藝,又采用平面定向研磨/拋光操作,可在基材和應用中實現一致的材料去除速率。IPEC 676晶圓研磨、研磨拋光機是為實現高度自動化而設計的,並配有可編程參數和設置,以確保研磨/拋光操作的精度和準確性。該工具具有用戶友好界面,具有安全設置和故障安全功能,可確保每次操作安全高效。各種研磨和拋光化合物也可提供最佳效果,具體取決於加工材料的類型。WESTECH 676晶片研磨、研磨和拋光資產既能處理大小晶片,又能提供一致、高質量的精加工。對於需要在各種晶圓材料上實現高度精確的光潔度和平滑度的任何人來說,這種模型都是完美的選擇。該設備具有高效可靠的性能,每次都能確保完美的精加工,使其成為任何晶圓生產應用中必不可少的工具。
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