二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 825 #9399796 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種功能強大且用途廣泛的晶圓加工系統,旨在生產極其精確且超光滑的表面。它是一個全自動的單元，能夠研磨、研磨、拋光許多不同類型的晶片，包括矽、砷化氙和藍寶石。該機具有多個用於預拍攝和研磨的主軸，以及一個用於高速加工的磨輪。它具有多種控制物料流動的內置特性，如水冷卻劑工具和自動阻尼資產。IPEC 825能夠產生非常高精度的晶圓表面,並且能夠產生RMS粗糙度值低於0.1nm的表面。它非常適合用於微電子和半導體的制造，以及晶圓的稀化和平面化操作。該車型具有可調的轉速控制，可以高達10,000 rpm的速度運行。它還有一個可編程周期計時器，允許用戶指定任何給定進程所需的周期數。WESTECH 825的研磨室配備了晶圓夾緊設備和直列式自動調平功能。它還包括一個零間隙的水冷卻劑系統，在研磨、研磨和拋光過程中保持工作表面的冷卻和潤滑。設備的控件和軟件還包括用於精確主軸控制和速度同步的功能。825還配備了拋光臺和集成金剛石復合儲油機。這允許用戶最多連接三個不同的拋光頭，這些拋光頭可以編程為同時拋光不同的晶圓尺寸。晶圓臺可容納直徑最大150毫米的晶圓，並可在手動和自動模式下操作。它用途廣泛，適用於包括薄膜設備、平板、MEMS設備在內的一系列應用。該工具經國際標準認證，其組件保證能夠提供最高質量的結果。SPEEDFAM 825有一系列包裝,適合特定的生產要求。IPEC致力於為客戶提供最佳晶圓處理資產,IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825將在性能和可靠性方面滿足這一承諾。