二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Auriga #141543 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Auriga是晶圓研磨、研磨和拋光設備，作為半導體、MEMS和光電工業的一部分，設計用於精密研磨和拋光應用。其主要目的是為各種不同的應用改進元件的曲面和幾何形狀。IPEC Auriga采用雙旋研磨/拋光工藝,采用兩個獨立的研磨頭同時進行研磨和拋光,以提高吞吐量和易於操作。每個研磨頭都有一個晶片卡盤和夾具，可以針對特定的直徑和螺距進行預設，設計用於快速、精確的研磨和拋光。一個自動分配系統和兩軸四速級驅動器集成到單元中。WESTECH Auriga配備了一個自動化的多軸運動控制機器，包含線性和3D/rotary掃描，提供對研磨和拋光過程的精確控制，使其能夠生產高精度、低成本的光學和表面規律性零件。專利3-D掃描工具結合了高分辨率位置編碼器和控制軟件，以確保可重復、精確和受控的結果。此外，Auriga資產還配備了閉環壓力、潤滑劑和流體溫度控制模型，該模型旨在提供前後一致、準確、可重復和可靠的結果。該設備還提供對研磨和拋光壓力的實時反饋，以及對任何潛在線圈或卡盤損壞的監控。還包括操作員和設備保護的綜合安全系統。SPEEDFAM Auriga單元設計用於高精度研磨和拋光操作，並已被證明比其他方法在一系列材料上更加準確和一致，包括陶瓷、藍寶石、復合材料、橡膠和塑料。它在半導體、MEMS和光學工業中的使用證明了它的能力和可靠性。