二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9092866 待售
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ID: 9092866
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CMP system, 8"
Used for Tungsten Polish
676 Mainframe with Operator Interface Monitor
System Computers: (1) SysCon, (4) Polish Heads, (1) Endpoint, (1) C2C
ystem Software: Advantgaard 676 3.0 rev S S
Brookside Endpoint Detection System with Configurable Algorithm to Detect Endpoint
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(3) Systolic Pumps for Slurry or DI Water
High Flow DI Water Rinse Valve Configuration
Upper and Lower Pneumatics Panel
Hoist for Upper Motor and Tower Removal
(2) Pad Conditioning Systems
Cassette to Cassette Wafer Handling System
Genmark Gencobot Multi-Axis Robot with Wafer Pickup Paddle
Wet Cassette Assembly with Wafer Sensor Array
Spray Box Assembly
Electrical Cabinet with Computer Control Station
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676晶圓研磨、研磨、拋光設備是制造集成電路（IC）元件的綜合平臺。這個最先進的系統配備了最新的自動化技術，以提供高水平的準確性和吞吐量。該機采用研磨、研磨和拋光技術相結合，使表面光滑平整，缺陷最小。IPEC Avantgaard 676包括一臺精密研磨機，帶有金剛石塗層研磨輪。通過磨削過程，磨掉金剛石顆粒以獲得所需的表面粗糙度。為了進一步細化表面，采用研磨工藝。這包括利用特定尺寸分布的旋轉磨料，以消除任何殘留的缺陷。此外，該單元還采用了一種精細拋光器，該拋光器使用類似的旋轉磨料材料，以恢復和增強精細表面光潔度。這臺機器是為了方便用戶，有一個靈活的工具搬運機和一個自定心主軸。此外,該工具還具有高性能的機械臂,可編程為多種功能,包括從模具中加載和卸載晶片,以及對研磨、研磨和拋光過程進行調整。資產還包括監測和評價進程的廣泛措施。其中包括一個高級工藝監控模塊，提供對工藝參數如主軸速度和壓力的實時監控。此外，該模型還包括一個詳細的數據記錄設備，以提供對該過程的統計分析。最後,WESTECH Avantgaard 676配備了最新的安全功能,包括強大的互鎖系統,可確保平臺在出現異常或故障時完全關閉。該機器也是按照國際電工委員會（IEC）的安全規定建造的。總而言之，Avantgaard 676是一款強大可靠的晶圓研磨、研磨、拋光裝置，旨在滿足半導體行業的苛刻要求。其用戶友好的設計、廣泛的功能和先進的安全功能使其成為高精度IC生產的理想平臺。
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