二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 372M #9092868 待售
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ID: 9092868
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
CMP Polisher, 8"
Cassette to cassette
(2) Platens
Chiller
Software version: 2.011
1995 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 372M是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為半導體行業最苛刻的應用而設計。這種用途廣泛的系統可用於加工多種材料,包括矽、藍寶石、石英、砷化的結晶材料。該單元配備了多項高級特性和能力。它的閉環過程控制機允許精確消除系統和隨機誤差,從而得到更精確的精加工。該工具配備了6微米的瞬時定位資產,以確保精確的晶圓定位。IPEC Avanti 372M的設計可容納直徑不超過8英寸、厚度不超過1.2mm的晶圓。它具有一個使用多達5個磨料墊的拋光頭,並且具有高吞吐量的4墊研磨頭,吞吐量高達9um/hr。該模型能夠控制從0,5N到800N的壓力。它還具有許多分析選項,例如徑向分析、中心分析、周長分析和平坦度分析。設備的獨特之處在於其微步技術。這樣可以在磨料墊和晶片之間實現極其精確的間距,從而獲得均勻的光潔度。此功能還可確保晶片不會因施加壓力不均勻而損壞。WESTECH Avanti 372M是一個可靠高效的系統,易於安裝和操作。其目的是通過利用金屬金剛石磨料降低晶圓制造成本。該單元還具有CCD監視器和打印預覽,用於圖像查看。總體而言,SPEEDFAM Avanti 372M是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光機,可以處理多種材料,包括結晶材料。它是一種高效可靠的工具,易於操作,可以提供極其精確的精加工。它能夠控制從0.5N到800N的壓力,並配備了復雜的性能分析選項。此外,它的微步技術確保晶片不會受到不均勻施加壓力的破壞。
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