二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293750600 待售
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ID: 293750600
優質的: 1996
Automatic wafer polisher
APP1000 Pad conditioning
Pressure (CDA): 100-80 psi (N2)
Vacuum: >-20 Hg
Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min)
Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase
Manual
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一種四站研磨研磨拋光機，可用於加工和精煉半導體晶片。這臺機器在晶圓研磨、研磨和拋光過程中具有卓越的性能、精度和可重復性。此設備采用模塊化設計,可方便地針對不同的流程需求進行配置,並提供流程之間的快速過渡。IPEC Avanti 472能夠同時處理多達四個晶圓。WESTECH Avanti 472在每個站內設有兩個研磨臺和兩個處理晶圓的拋光臺。這些表設計用於低振動操作的高速操作,從而可以精確控制整個過程。該系統為每個研磨和拋光盤配備兩臺專用交流電動機，提供出色的正時和穩定的速度控制。可調速度選項優化了載荷和速度條件的調整。Avanti 472帶有三種能夠滿足廣泛應用要求的研磨介質。這些研磨介質包括金剛石砂礫、陶瓷砂礫和碳化矽砂礫。每種類型的砂礫都提供不同級別的拋光動作，讓使用者最好的滿足他們的特殊需求。此外,磨削介質可以在過程之間切換,以調整成品的值。該單元采用可編程過程控制器，提供簡單、用戶友好的界面。此控制器允許用戶根據自己的特定需求對流程參數進行編程，並提供有關流程設置的診斷和反饋。控制器最多可以存儲二十個單獨的程序,以便快速輕松地回憶不同的設置。此外，該機還配備了攻角監視器以監測晶圓的研磨/拋光角度，以及研磨深度監視器以跟蹤研磨過程的整體深度。最後,SPEEDFAM Avanti 472機器實現了自動化,配備了一系列傳感器和裝載機供無人值守操作,從而實現了卓越的工作效率、靈活性和準確性。
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