二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082 待售

ID: 60082
晶圓大小: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8" Automatic loading / Unloading DI Water: Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min) Average flow: 6 GPM (22.7 l/min) Pressure: 25 - 30 PSI Chilled water: Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min) Compressed air: Peak flow: 6 SCFM (170 SLM) Nitrogen: Peak flow: 10 SCFM (283 SLM) Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是最先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統。472專為半導體基板而設計,提供卓越的研磨、研磨和拋光能力。472是Avanti系列的最新版本,提供晶圓研磨和拋光技術中最現代的。IPEC Avanti 472由一個可調節的雙臂龍門組成,裏面裝有雙主軸研磨、研磨和拋光系統。472配備了直徑40毫米的拼盤和200毫米的桌子,提供精確的材料去除和平面化,同時保持微米精度橫跨晶圓表面。可以同時使用多個盤片來增加吞吐量,而獲得專利的龍門行星運動(Planetary Motion)提高了垂直分離能力,提供了卓越的品質完成。472采用模塊化設計,以更快的集成和設置,並配有用於簡化用戶界面的觸摸屏控件。綜合流程質量控制使用軟件進行管理,包括高級流程監控和自動診斷服務。472還配備了集成安全傳感器,用於增加操作員保護。472具有許多旋轉和固定的主軸。高速旋轉主軸提供了最佳的速度靈活性,而編程控制的主軸提高了精度和可重復性。金剛石磨料磨盤用於實現一個非常平坦的表面,而額外的磨料系統則用於以更高的精度去除材料的薄層。還可以使用自動密封系統、環境室和各種工具,從而可以處理幾乎任何材料。472具有多功能性和精確度,可滿足各種晶圓研磨、研磨和拋光需求。它的模塊化設計使集成和維護比以往任何時候都更簡單,而且它的自動化控制確保每次都能獲得可靠、高質量的結果。472是晶圓研磨、研磨和拋光技術的巔峰之作,提供業界最優質的最終產品和工藝可靠性。
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