二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它由一臺計算機控制的旋轉臺組成，安裝在機器的一個垂直截面上，在那裏放置拋光工具。該表可以雙向旋轉,也可以以1°為增量旋轉。拋光臂有四個夾緊臂，每個夾緊臂最多可容納三個拋光工具，這取決於晶圓的形狀和大小。具有自定心卡盤的精密研磨工具允許快速、精確地研磨薄晶片,從而實現高通量。研磨臂可同時進行手動和自動控制。它允許精確控制研磨過程，而無需操作員。拋光臂與ABM Futuristic系統集成在一起，該系統具有拋光機器人和往復式壓板臂，可用於無紡錘研磨。旋轉臺連接到6常速電動機，使用金剛石輪進行拋光。它還配備了可用於測量晶圓表面質量的主軸頭集成機視覺單元。IPEC Avanti 472還具有氣動阻尼器以減少振動。它采用隔振底座設計,可最大程度地減少噪音,從而提高安全性和舒適性。該機還配備了串聯表面活性劑輸送，以改善清潔，減少廢物產生。集成的研磨控制工具允許更精確的研磨過程。WESTECH Avanti 472還配備了兩級電阻加熱資產，用於研磨拋光應用的幹濕材料。它還有一個冷卻器，在拋光過程中通過模型循環冷卻水，以減少過熱的風險，提高晶片的結構完整性。此外,Avanti 472還配備了一個全封閉式機櫃,該機櫃配有一個帶有緊急關閉功能的安全外殼,可在緊急情況下關閉電源。用戶友好的觸摸面板界面包含一個便於操作和監控的人機界面，以及一個數據采集設備，用於捕獲與拋光和研磨過程相關的所有數據。總體而言，SPEEDFAM Avanti 472是一種先進可靠的晶圓研磨、研磨和拋光系統，旨在高效生產高精度晶圓。它在所有過程中提供可靠的性能和高度的準確性。