二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9182620 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是為生產和實驗室應用而設計的精密晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統能夠將高達450毫米的晶片磨削到指定的平坦度和分辨率，同時去除低至0.5 µm的侵蝕性顆粒。該單元具有完全獨立的研磨和拋光元件，允許並聯研磨和拋光操作。高分辨率的直線傳動和數字伺服控制使磨削精度和可重復性更高。磨削工具以30 rpm至360 rpm的速度驅動，峰值力為700 N/cm2，總力為14kN。IPEC Avanti 472具有用於研磨元件的四軸線性傳動機和用於研磨/拋光元件的單獨線性傳動工具。驅動器資產為這兩個組件提供了異常平滑和可靠的運動。研磨元件可在x、y、z方向移動，可編程分辨率為1 µm，可重復性為1 μ m。研磨/拋光元件可沿x和y方向移動,分辨率為0.001 μ m,可重復性為0.1 μ m。研磨/拋光組件使用一對靜水軸承組件來精確移動板材,最大程度地減少偏轉,同時提供更好的熱性能。平板由強大的伺服模型提供動力，能夠施加高達30 kN的力。板材可與多種懸掛系統搭配使用，包括單面、雙面和混合。WESTECH Avanti 472利用現代多媒體PC與觸摸屏界面，為用戶提供易於使用的圖形用戶界面，用於編程和控制設備。該系統還包括高級數據采集和可視化工具，允許用戶實時監控和分析過程。單位最多可儲存25個食譜，包括每個最多50個參數。總體而言，Avanti 472是一款先進的精密晶圓研磨、研磨和拋光機，旨在產生完美無瑕的效果。該工具包括許多冗余功能,可實現優化的性能和可重復的精度。該資產以基於PC的高級軟件為後盾,可輕松調整設置以及實時過程監控和分析。