二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9220761 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種高度先進的半導體和集成電路制造系統。它是專門為晶圓研磨和拋光在晶圓水平的基材而設計的。該裝置能夠研磨和拋光單個和多個大晶片，直徑可達8英寸，厚度可達5毫米。它采用專利磨料和拋光技術，包括濕、幹和激光蝕刻。阿凡提的主單元由兩個獨立的同步行進主軸和一個液壓驅動機組成。紡錘可以同時磨削和拋光多個晶片。主軸通過伺服驅動的刀具分別控制基板的進料和旋轉速度。磨削和拋光適配器可從機櫃底座上拆下,可根據需要更換為其他拋光頭。Avanti有三個不同的工區：研磨區、拋光區和清潔區。在研磨區，晶片從大粒度磨料顆粒開始，然後隨著晶粒沿著軸線向下移動而減小粒度。拋光區采用各種拋光技術，如金剛石、CMP和添加劑。清潔區是資產的最後一個區域，利用純凈水清除工藝碎片。該型號還配備了幾個過程控制選項。過程控制包括對主軸速度進行編程、自動壓力控制、自動流體優化等能力。它還設有冷卻劑監測設備，用於監測操作中使用的冷卻劑的流量和壓力。此外，系統還有一個專用的溫度控制單元，其設計目的是減少主軸產生的熱量。IPEC Avanti 472機體積小巧，使用方便。設計該工具的目的是提供可靠性和準確性。它也是高度可定制的,因此用戶可以根據特定的流程要求定制操作。由於其耐用性、安全性和靈活性,WESTECH Avanti 472晶圓研磨、研磨和拋光資產是任何半導體或集成電路制造工藝的理想選擇。